先端機器

ナノテクノロジー、プリンテッドエレクトロニクス、有機エレクトロニクス、MEMS（微小デバイス）関連の最先端の技術を用いた機械装置を国内外からご提供しております。

特に重要な成膜・塗布、硬化・焼結、検査・評価の工程に注力し、成膜・塗布工程に超音波スプレー、硬化・焼結工程にフォトシンタリング（光焼結）、検査・評価工程に高速膜厚・欠陥検査装置といった環境低負荷を実現する革新的な装置を供給しています。その応用分野は次世代の半導体、電子デバイス、自動車、ディスプレイ、太陽光発電、有機EL並びにライフサイエンス等多岐に亘り今後の技術革新により新しい市場の創造が大いに期待されています。
当社は、最先端のテクノロジーを開発からプリプロダクション、量産に至るまで、お客様のニーズに合わせたソリューションとしてご提案すると共に、グローバルなネットワークを活用したビジネス展開を行ってまいります。

印刷・パターニング・成膜、焼結、微細加工および塗布コーティングソリューション

主な取扱い装置

超音波スプレー（Sono-Tek Corporation）

・マニュアル＆自動スリットコーター(有機薄膜塗布・印刷ライン)
・インクジェットプリンター
・超音波ノズルコーティング装置
・エアロゾルジェットデポジション(微細線パターニング)
・パルスフラッシュランプ(焼結・UV硬化用各種光源)
・高出力産業用ハイブリッドレーザーモジュール

主なアプリケーション

キセノン照射装置（Xenon Corporation）

・有機EL照明、有機ELディスプレイ
・燃料電池、次世代型太陽電池
・タッチパネル、プリンタブルエレクトロニクス
・有機TFT、次世代半導体（3次元回路形成)
・MEMS
・金属ナノ材料の焼結、 UV硬化（光ディスクなど)、 ソーラーシミュレータ光源
・難加工材（ダイヤモンド、サファイヤ、強化ガラス、CFRP）、高機能フィルムの微細加工

分析検査・評価ソリューション

理化学機器検査装置

理化学計測機器・接触角計測器（Biolin Scientific AB）

・表面ﾌﾟﾗｽﾞﾓﾝ共鳴を応用した分子間相互作用分析装置(ﾊﾞｲｵｾﾝｻｰ)
・接触角計：対象物質界面の撥水、親水性の測定
・膜の材料力学特性評価（剥離強度 etc.）
・Langmuir膜の形成と解析
・LB膜の累積基盤転写

主なアプリケーション

・ﾀﾝﾊﾟｸ質間の相互作用、抗原抗体反応、結合ﾊﾟｰﾄﾅｰの探索、ｶﾞｽ分子の吸着、食品成分
・環境汚染物質などの検知。定量
・表面処理加工・材料等の開発、基板（Si)の洗浄度評価
・成膜材料の開発、FPD（液晶ﾃﾞｨｽﾌﾟﾚｲ）

（シリコン・サファイア）ウェハ検査装置

・PLイメージング式ライフタイム検査機
・光学式表面形状測定装置（サファイア, GaN, Siウェハ各種対応)
・世界最小マイクロ4端子プローブ

主なアプリケーション

・LED: GaN, ベアサファイア、太陽電池： インゴット, ウェハ
・従来型のライフタイム検査に比べ高速・インライン化
・SEMI準拠、TTV, Bow, Warp, Ra等各種パラメータ測定
・高速自動化XYステージ、高速TSV測定対応、複数の光学系を搭載可能
・微小領域での電気特性評価

膜厚測定・外観検査装置

■ 膜厚測定・外観検査装置
・反射・透過分光式光学特性評価装置
・外観検査・膜厚分布測定装置
・蛍光X線型金属膜測定機
・イメージングエリプソメータ

主なアプリケーション

・有機EL、次世代太陽電池
・フラットパネルディスプレイ（各種ガラス基板）、薄膜太陽電池
・機能性・塗布フィルム測定
・化合物半導体太陽電池、膜厚分布の3次元化

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