ニュースリリース

清浄度管理と発塵源の特定に貢献する表面付着パーティクル測定装置の販売を開始

2022/04/21

アルテック株式会社（本社：東京都中央区、代表取締役社長：池谷 壽繁（いけや とししげ）、東証スタンダード：証券番号9972）は、Fastmicro社（オランダ・北ブラバント州ゲルドロップ市）が製造する微小パーティクル測定装置の販売を開始しました。

Fastmicro社は、オランダ応用科学研究機構(TNO)と共同で、任意の対象表面に対してカード型の樹脂フィルムを押し当ててパーティクルを採取し、光学式の測定原理を用いて「その場で」「直ぐに」付着パーティクルの数とサイズを評価することができるという画期的なパーティクル測定装置である“Sample Scanner”を開発しました。

Fastmicro社製Sample Scannerの特徴

■スピード

• 数分程度の解析時間でパーティクルの計測が可能

■価格

• 他の方式の装置に比べ圧倒的なコストメリット
• サプライチェーンの隅々まで行き渡ることを考えて作られたシステム

■手軽さ

• ごく簡単な作業でサンプル取得～解析が実行可能
• 直感的に使えるパーティクル管理に特化したシステム

当該製品は既にオランダ国内の半導体用リソグラフィー装置におけるリーディングサプライヤー社にも採用されており、且つEUVペリクル製品の品質管理用の標準検査システムとして認定されております。また関連するサプライチェーンにおいても正式に採用が始まっております。

上記ペリクル以外にも、半導体製造装置・部品（例：CVD等の成膜装置チャンバー内壁面）等、発塵源が疑われるものの、これまで手が届かず測定が難しかった場所についてもパーティクルの採取と評価が可能になりました。またエアーパーティクルカウンター等、他の手法と組み合わせて使うことにより、より正確な発塵源の特定にお役立て頂けます。

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