非接触光学式微小パーティクル測定装置

Fastmicro社のSample Scannerは、高速・高スループットでありながらも正確で定量的な測定を実現する非接触光学式微小パーティクル測定装置です。

対象表面のパーティクル付着による汚染レベルを間接的に測定するために開発されたもので、Samplerと呼ばれる試料片を使用することで機器の設置環境に依らず、いつでも測定対象となるパーティクルのサンプルを採取することができます。

また、手の届かない場所や比較的粗い表面でもしっかりとした測定が可能です。パーティクルの採取物を保持したSamplerは、清浄に保ったホルダーに入れて持ち運ぶことも可能で、再測定や事後分析を行うことも可能です。

活用事例

・コンタミ対策として、半導体製造装置やパーツ・デバイスの開発・製作におけるパーティクル軽減の取り組みでの活用

・CVD装置など半導体製造プロセスのチャンバー内やバルブ・ポンプ・配管類の継続的なパーティクル管理

 

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