イメージングエリプソメータ・アクティブ除振台 （Accurion GmbH）
AccurionはMax Plank Institute / Biophysical Chemistry (Gottingen)から1991年スピンオフし設立されました。
Nanofilmブランドのイメージングエリプソメーターやブリュースター角顕微鏡の製造販売を始め、Langmuir-Blodgett膜、バイオチップ、フラットパネルディスプレイなどの様々な研究分野でのアプリケーションを開拓してきました。
また、Halcyonicsブランドのアクティブ除振台は世界最高水準の除振能力を誇り、著名なAFMメーカーとOEM契約をし、様々な精密機器のパフォーマンス向上に役立っています。
Nanofilmイメージングエリプソメーター
膜厚分布の3Dマップ化によるナノストラクチャー解析
従来のエリプソメーターは方位分解能が約50μmぐらいで、膜厚測定はレーザースポットがあたる1点のみを測定していました。
これに対しイメージングエリプソメーターEP3シリーズは方位分解能1μm、深さ方向の測定精度は0.004nm(SiO2/Si)を達成し、膜厚分布の3Dマップ化が可能です。ナノストラクチャーの解析に有効な装置です。
Halcyonicsアクティブ除振台
測定装置のパフォーマンスを最大限に高める
●6自由度アクティブ制御
●共振周波数無し
●移動時のロック機構を装備
●オートロードアジャストメント
●ユーティリティーは100V電源のみ
主な用途：AFM、SPM、レーザー顕微鏡、干渉計、表面粗さ計、ナノインデンター、その他の精密機器
先端機器・ナノテクノロジー関連 特設サイト
| メーカー | ProChimia Surfaces, |
|---|---|
| メーカー国名 | ドイツ |
| 関連URL | https://advanced.altech.jp/accurion-nanofilm/ |
| お問合せ先 |
ネクシード営業部 ml-nexceed@altech.co.jp Tel : 03-5542-6755 Fax : 03-5542-6766 |
