ナノインデンター (ZwickRoell)
ZwickRoellのナノインデンターは、ドイツ ケムニッツ工科大学からのスピンオフで、Dr. Thomas Chudobaにより2003年に設立されたASMEC社を起源といたします。
Dr.Chudobaはナノインデンテーションを使用した材料力学分野において著名な研究者で、ナノインデンテーションに関する論文を２６以上執筆し、論文の一部はpart 4 of the international indentation standard ISO 14577 (test method for coatings)にも採用されています。
ビッカース硬度計などによる薄膜の硬さ測定は、塑性変形によって生じた圧痕のサイズを光学顕微鏡で測定するため、顕微鏡精度や深さの制限などの問題をかかえていました。
一方で近年のエレクトロニクス部品の厚さはnmオーダーとなり、このような従来法では対応できなくなりました。
これに対し、ナノインデンテーションは、押し込み荷重をuNオーダーで制御し圧子の押し込み深さをnmの精度で測定する方法です。押し込み荷重F(Force)に対する押し込み深さhの関数をXYプロットし、荷重の印加から除加までの全過程を連続的に測定することにより、硬度、ヤング率を算出します。このため、圧痕サイズの誤認のような個人誤差の問題が発生しないメリットがあります。
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| メーカー | ZwickRoell |
|---|---|
| メーカー国名 | ドイツ |
| 関連URL | https://advanced.altech.jp/zwick-roell/ |
| お問合せ先 |
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