走査型伝導度顕微鏡 (CAPRES A/S)
CAPRESは、デンマーク工科大学よりスピンオフし1999年に設立されたメーカーで、従来の1000分の1のサイズのマイクロ4ポイントプローブの開発に着手し、2000年と2001年には文科省の国際共同プロジェクトとして、東京大学大学院理学系研究科物理学教室、長谷川修司助教授の研究グループと共同研究を行っています。
同研究の成果は表面科学23号などにおいて共著で発表されました(長谷川修司先生には現在装置販売に関する弊社技術アドバイザーをしていただいております)。
同社が東大と共同開発したマイクロ4ポイント及び12ポイントプローブを利用したスキャニングコンダクティビティーマイクロスコープ(走査型伝導度顕微鏡)は、次の3つの分野におけるR&D,クオリティーコントロールに役立つ新しい技術です。
【重要なお知らせ】
CAPRES 社製品の日本国内での販売・サービスにつきまして、2019 年のKLA グループによるCAPRES 社の買収に伴い、以下のとおりアルテック株式会社からKLA グループによる販売へ移管することとなりました。
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R&D,クオリティーコントロールに役立つ3つの分野
- 現在世界中が注目するMRAM(Magnetic Random Access Memory)をはじめとする、次世代磁気メモリー、磁気ヘッドの開発やクオリティーコントロール。
- ナノメータースケールの構造・領域の伝導度測定が可能であり、ナノテクノロジーにおける機能性薄膜の開発。
- 液晶、半導体製造工程における導電性検査。微細加工後の不均一性の測定。又、プロダクトウェハであってもダイレクトで測定が可能であるため、製造工程における用途も広い。
AS営業部特設サイト
メーカー | CAPRES A/S |
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関連URL | https://advanced.altech.jp/capres/ |
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